ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置 PNC-300 基本仕様 6~8インチ用フレーム(ディスコタイプ) 対応照射時間設定:MAX 99秒 窒素パージ量調整可能 メタルハラルドランプ(オゾンレスタイプ) 波長:300~450mm 反射鏡=コールドミラーにより熱影響最小化