ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置

PNC-300
基本仕様

6~8インチ用フレーム(ディスコタイプ)

対応照射時間設定:MAX 99秒

窒素パージ量調整可能

メタルハラルドランプ(オゾンレスタイプ)

波長:300~450mm

反射鏡=コールドミラーにより熱影響最小化