ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置

基本仕様

• 6～8インチ用フレーム（ディスコタイプ）
• 対応照射時間設定：MAX 99秒
• 窒素パージ量調整可能
• メタルハラルドランプ（オゾンレスタイプ）
• 波長：300～450ｍｍ
• 反射鏡＝コールドミラーにより熱影響最小化