真空・加圧リフロー炉 仕様 有効加熱エリア：300mm×300mm 設定温度 ：最大450℃ 到達真空度 ：10Pa 最大加圧 ：0.4MPa 対応雰囲気ガス：窒素ガス、フォーミングガス、Heガス等 設備の最大の特徴 真空／加圧 １台で２約のリフロー対応
