お客様よりダイシングテープに貼った状態でベアチップをご支給いただき、いざダイボンドをする段階になって、ダイシングテープとベアチップの剥離性が悪く、ピッキングに困難を極める場合がありました。ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置を導入いたしましたので、このあたりの作業がスムーズに進むようになり、納期や歩留り（チップかけ減少）向上などに大きく貢献するものと考えます。

主な仕様は以下です。

6～8インチ用フレーム（ディスコタイプ）対応
照射時間設定 Max. 99 sec
窒素パージ量調整可能
メタルハラルドランプ（オゾンレスタイプ） 波長：300～450 nm
反射鏡＝コールドミラーにより、熱影響最小化
ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置