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ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置

PNC-300
基本仕様
6～8インチ用フレーム（ディスコタイプ）
対応照射時間設定：MAX 99秒
窒素パージ量調整可能
メタルハラルドランプ（オゾンレスタイプ）
波長：300～450ｍｍ
反射鏡＝コールドミラーにより熱影響最小化

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