実装技術資料_中空気密封止.pdf
パッケージにデバイスを収納し、リッド蓋接合封止する際に内部を
デバイス動作に応じた不活性ガス雰囲気や真空雰囲気にすることで
安定した特性を発揮させることを目的としている工法（中空気密封止）の紹介。