基本仕様

• 実装精度：±４μｍ 3σ（26μｍピッチ対応可能）
• パルスヒートヘッド能力：
  ◎昇温：室温→450℃/２秒
  ◎冷却：450℃→室温30秒
  ※低温ACF(高反応ACF)対応／接続部ボイドレス
• 高荷重ヘッド能力：2000N
• 対応サイズ：1～17in
• 装置サイクルタイム：15秒/１FPC
• ウェット洗浄/プラズマ洗浄機能付き