基本仕様
機種（品番）：Panasonic　MD-P200（NM-EFD1B）
搭載精度：XY：±25μm、θ：±0.3°　3σ
対応ダイ寸法：L 0.25mm×W 0.25mm～L 6mm×W 6mm（2mm□まで）
ダイ供給形態：フラットリング、セミエキスパンドリング、ワッフルトレイ