フリップチップボンダー Panasonic FCB3 基本仕様 ボンディング位置精度:3μm/3σ(メーカー保証値) 0.3mm角のLEDベアチップの高精度搭載が可能 加圧レンジ : 5N~490N 加熱レンジ : Max.500℃ ESC工法が出来ます