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ダイボンダー

12インチウェハまで対応可能なダイボンダを導入しました。


装置概仕様
  • 対応ウェハサイズ: 8インチ、12インチ
  • 対応チップサイズ: 0.25~15mm (t=75μm~)
  • 搭載ボンディング精度: XY方向 ±20μm(3σ)           θ方向 ダイサイズ 1.0未満 ±0.2℃ ダイサイズ 1.0以上 ±1°