ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置導入!
お客様よりダイシングテープに貼った状態でベアチップをご支給いただき、いざダイボンドをする段階になって、ダイシングテープとベアチップの剥離性が悪く、ピッキングに困難を極める場合がありました。ダイシングテープ剥離用紫外線照射装置を導入いたしましたので、このあたりの作業がスムーズに進むようになり、納期や歩留り(チップかけ減少)向上などに大きく貢献するものと考えます。
主な仕様は以下です。
6~8インチ用フレーム(ディスコタイプ)対応
照射時間設定 Max. 99 sec
窒素パージ量調整可能
メタルハラルドランプ(オゾンレスタイプ) 波長:300~450 nm
反射鏡=コールドミラーにより、熱影響最小化

